純凈水是比氯化、過濾和軟化水更高級的水。純凈水處理過程往往包括一項或幾項以下過程:反滲透、超濾、離子交換或UV滅菌等。因工業不同,需要的水質有所差異,但pH控制、濁度監測、氯檢測、電導率和硅含量檢測總是有利于提高純凈水生產效率的。
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pH測控主要用于維持整個去離子水過程保持合適的pH值。
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在多功能過濾器后面安置濁度檢測儀是為了防止過濾器透露或結垢。
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純水處理過程中需要加入微量的氯阻止微生物生長和RO膜結垢。合適的氯含量,最好采用連續監控。
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整個系統環節都在檢測可溶性硅含量是為了可靠地檢控降低礦化度設備的效能,并掌握下流可溶性硅的含量。
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電導率檢測儀是最常用的檢測儀器,用于檢測系統中是否會有特殊污染物質,正常情況下純水是不導電的。通過電導率檢測可以發現系統水中是否有可溶性固體成分。
在半導體生產中純凈水是關鍵的過程運行控制項目。含硅量將嚴重影響合格產量。在如今高科技生產條件下,即使是ppb級的硅含量,也會影響單晶生產。
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