常用殘余氣體分析儀
Residual Gas Test
殘余氣體分析儀,殘留氣體分析儀,殘余氣體分析儀器 殘余氣體分析儀,殘留氣體分析儀,殘余氣體分析儀器 《北斗星儀器
工業分析儀器手冊》
下載! 北斗星科技有限公司 業務部
殘余氣體分析儀,殘留氣體分析儀,殘余氣體分析儀器
規格
技術參數
用途
有機氣體殘余氣體檢測儀
HBD5Gas2290
55ppb-
普適型。便攜式殘余氣體濃度檢測,一般適合置換系統常壓檢測，或真空系統在真空泵出口檢測。
有機氣體殘余氣體濃度計
TBD5Gas2290
55ppb-
普適型。殘余氣體濃度連續監測,一般適合置換系統常壓檢測，或真空系統在真空泵出口檢測。
有機氣體殘余氣體在線監測系統
CGA2290
55ppb-
普適型。殘余氣體濃度連續監測
，一般適合置換系統常壓檢測，或真空系統在真空泵出口檢測。
在線氣體濃度計
TCD2220
0.01-100%
普適型。殘余氣體濃度連續分析。熱導率氣體分析儀主要用于二元氣體或準二元混合氣體的相對濃度。對氫氣或氦氣有較高的選擇性。 可在低真空系統直接安裝。
殘余氣體分析儀
四極質譜儀
QMS2740
CH4:10ppb;CO2:10ppb; N2:100ppb;CO:100ppb;
H2:100ppb;O2:100ppb
用于在線監測的真空設備，主要用來檢測真空腔中的氣體成分和氣體濃度�？梢赃_到百萬量級的動態范圍，優于1amu的分辨率，5×10-4Torr的探測極限
。主要用于氮氣、氫氣等光學惰性雙原子氣體。
微量氣體檢測系統
LGA4812-39370
ppm~%
普適型�？捎糜趯ψ贤庥形盏母鞣N殘余氣體在線監測，可在真空系統直接安裝。
微量氣體檢測系統
LGA4812-6060
ppm~%
普適型�？捎糜诟鞣N有機碳氫化合物殘余氣體在線監測，可在真空系統直接安裝。
微量氣體檢測系統
LGA4821
ppm~%
選擇性監測�？捎糜谔囟堄鄽怏w在線監測，可在真空系統直接安裝。
微量氣體檢測系統
PGA4160
ppm~%
選擇性監測�？捎糜谔囟堄鄽怏w在線監測，可在真空系統直接安裝。
殘余氣體分析儀
