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殘余氣體分析

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有機(jī)氣體殘余氣體濃度計(jì)	TBD5Gas2290	55ppb-	殘余氣體濃度監(jiān)測(cè)	殘余氣體分析
在線氣體濃度計(jì)	TCD2220	0.01-100%	殘余氣體濃度連續(xù)分析熱導(dǎo)率氣體分析儀主要用于二元?dú)怏w或準(zhǔn)二元混合氣體的相對(duì)濃度。對(duì)氫氣或氦氣有較高的選擇性。	殘余氣體分析
四極質(zhì)譜儀	QMS2740	CH4:10ppb;CO2:10ppb; N2:100ppb;CO:100ppb; H2:100ppb;O2:100ppb	殘余氣體分析是一種可用于在線監(jiān)測(cè)的真空設(shè)備，主要用來(lái)檢測(cè)真空腔中的氣體成分和氣體濃度�？梢赃_(dá)到百萬(wàn)量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍，優(yōu)于1amu的分辨率，5×10-4Torr的探測(cè)極限	殘余氣體分析
其它殘余氣體分析方案				殘余氣體分析

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