常用殘余氣體分析儀
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| 規(guī)格 | 技術(shù)參數(shù) | 用途 | ||
| 有機(jī)氣體殘余氣體檢測(cè)儀 | HBD5Gas2290 | 55ppb- | 普適型。便攜式殘余氣體濃度檢測(cè),一般適合置換系統(tǒng)常壓檢測(cè)，或真空系統(tǒng)在真空泵出口檢測(cè)。 | |
| 有機(jī)氣體殘余氣體濃度計(jì) | TBD5Gas2290 | 55ppb- | 普適型。殘余氣體濃度連續(xù)監(jiān)測(cè),一般適合置換系統(tǒng)常壓檢測(cè)，或真空系統(tǒng)在真空泵出口檢測(cè)。 | |
| 有機(jī)氣體殘余氣體在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng) | CGA2290 | 55ppb- | 普適型。殘余氣體濃度連續(xù)監(jiān)測(cè) ，一般適合置換系統(tǒng)常壓檢測(cè)，或真空系統(tǒng)在真空泵出口檢測(cè)。 | |
| 在線氣體濃度計(jì) | TCD2220 | 0.01-100% | 普適型。殘余氣體濃度連續(xù)分析。熱導(dǎo)率氣體分析儀主要用于二元?dú)怏w或準(zhǔn)二元混合氣體的相對(duì)濃度。對(duì)氫氣或氦氣有較高的選擇性。 可在低真空系統(tǒng)直接安裝。 | 殘余氣體分析儀 |
| 四極質(zhì)譜儀 | QMS2740 | CH4:10ppb;CO2:10ppb; N2:100ppb;CO:100ppb; H2:100ppb;O2:100ppb | 用于在線監(jiān)測(cè)的真空設(shè)備，主要用來檢測(cè)真空腔中的氣體成分和氣體濃度�？梢赃_(dá)到百萬量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍，優(yōu)于1amu的分辨率，5×10-4Torr的探測(cè)極限 。主要用于氮?dú)�、氫氣等光學(xué)惰性雙原子氣體。 | |
| 微量氣體檢測(cè)系統(tǒng) | LGA4812-39370 | ppm~% | 普適型�？捎糜趯�(duì)紫外有吸收的各種殘余氣體在線監(jiān)測(cè)，可在真空系統(tǒng)直接安裝。 | |
| 微量氣體檢測(cè)系統(tǒng) | LGA4812-6060 | ppm~% | 普適型�？捎糜诟鞣N有機(jī)碳?xì)浠衔餁堄鄽怏w在線監(jiān)測(cè)，可在真空系統(tǒng)直接安裝。 | |
| 微量氣體檢測(cè)系統(tǒng) | LGA4821 | ppm~% | 選擇性監(jiān)測(cè)�？捎糜谔囟堄鄽怏w在線監(jiān)測(cè)，可在真空系統(tǒng)直接安裝。 | |
| 微量氣體檢測(cè)系統(tǒng) | PGA4160 | ppm~% | 選擇性監(jiān)測(cè)�？捎糜谔囟堄鄽怏w在線監(jiān)測(cè)，可在真空系統(tǒng)直接安裝。 | 殘余氣體分析儀 |
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