規(guī)格 | 技術(shù)參數(shù) | 用途 | ||
有機氣體殘余氣體檢測儀 | HBD5Gas2290 | 55ppb- | 普適型。便攜式殘余氣體濃度檢測,一般適合置換系統(tǒng)常壓檢測,或真空系統(tǒng)在真空泵出口檢測。 | |
有機氣體殘余氣體濃度計 | TBD5Gas2290 | 55ppb- | 普適型。殘余氣體濃度連續(xù)監(jiān)測,一般適合置換系統(tǒng)常壓檢測,或真空系統(tǒng)在真空泵出口檢測。 | |
有機氣體殘余氣體在線監(jiān)測系統(tǒng) | CGA2290 | 55ppb- | 普適型。殘余氣體濃度連續(xù)監(jiān)測 ,一般適合置換系統(tǒng)常壓檢測,或真空系統(tǒng)在真空泵出口檢測。 | |
在線氣體濃度計 | TCD2220 | 0.01-100% | 普適型。殘余氣體濃度連續(xù)分析。熱導(dǎo)率氣體分析儀主要用于二元氣體或準二元混合氣體的相對濃度。對氫氣或氦氣有較高的選擇性。 可在低真空系統(tǒng)直接安裝。 | 殘留氣體分析儀 |
四極質(zhì)譜儀 | QMS2740 | CH4:10ppb;CO2:10ppb; N2:100ppb;CO:100ppb; H2:100ppb;O2:100ppb | 用于在線監(jiān)測的真空設(shè)備,主要用來檢測真空腔中的氣體成分和氣體濃度?梢赃_到百萬量級的動態(tài)范圍,優(yōu)于1amu的分辨率,5×10-4Torr的探測極限 。主要用于氮氣、氫氣等光學(xué)惰性雙原子氣體。 | |
微量氣體檢測系統(tǒng) | LGA4812-39370 | ppm~% | 普適型。可用于對紫外有吸收的各種殘余氣體在線監(jiān)測,可在真空系統(tǒng)直接安裝。 | |
微量氣體檢測系統(tǒng) | LGA4812-6060 | ppm~% | 普適型。可用于各種有機碳氫化合物殘余氣體在線監(jiān)測,可在真空系統(tǒng)直接安裝。 | |
微量氣體檢測系統(tǒng) | LGA4821 | ppm~% | 選擇性監(jiān)測。可用于特定殘余氣體在線監(jiān)測,可在真空系統(tǒng)直接安裝。 | |
微量氣體檢測系統(tǒng) | PGA4160 | ppm~% | 選擇性監(jiān)測?捎糜谔囟堄鄽怏w在線監(jiān)測,可在真空系統(tǒng)直接安裝。 |
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