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	規(guī)格	技術(shù)參數(shù)	用途
有機(jī)氣體殘余氣體檢測儀	HBD5Gas2290	55ppb-	普適型。便攜式殘余氣體濃度檢測,一般適合置換系統(tǒng)常壓檢測，或真空系統(tǒng)在真空泵出口檢測。
有機(jī)氣體殘余氣體濃度計(jì)	TBD5Gas2290	55ppb-	普適型。殘余氣體濃度連續(xù)監(jiān)測,一般適合置換系統(tǒng)常壓檢測，或真空系統(tǒng)在真空泵出口檢測。
有機(jī)氣體殘余氣體在線監(jiān)測系統(tǒng)	CGA2290	55ppb-	普適型。殘余氣體濃度連續(xù)監(jiān)測，一般適合置換系統(tǒng)常壓檢測，或真空系統(tǒng)在真空泵出口檢測。
在線氣體濃度計(jì)	TCD2220	0.01-100%	普適型。殘余氣體濃度連續(xù)分析。熱導(dǎo)率氣體分析儀主要用于二元?dú)怏w或準(zhǔn)二元混合氣體的相對濃度。對氫氣或氦氣有較高的選擇性。可在低真空系統(tǒng)直接安裝。	殘余氣體分析儀
四極質(zhì)譜儀	QMS2740	CH4:10ppb;CO2:10ppb; N2:100ppb;CO:100ppb; H2:100ppb;O2:100ppb	用于在線監(jiān)測的真空設(shè)備，主要用來檢測真空腔中的氣體成分和氣體濃度�？梢赃_(dá)到百萬量級的動態(tài)范圍，優(yōu)于1amu的分辨率，5×10-4Torr的探測極限。主要用于氮?dú)�、氫氣等光學(xué)惰性雙原子氣體。
微量氣體檢測系統(tǒng)	LGA4812-39370	ppm~%	普適型。可用于對紫外有吸收的各種殘余氣體在線監(jiān)測，可在真空系統(tǒng)直接安裝。
微量氣體檢測系統(tǒng)	LGA4812-6060	ppm~%	普適型�？捎糜诟鞣N有機(jī)碳?xì)浠衔餁堄鄽怏w在線監(jiān)測，可在真空系統(tǒng)直接安裝。
微量氣體檢測系統(tǒng)	LGA4821	ppm~%	選擇性監(jiān)測�？捎糜谔囟堄鄽怏w在線監(jiān)測，可在真空系統(tǒng)直接安裝。
微量氣體檢測系統(tǒng)	PGA4160	ppm~%	選擇性監(jiān)測�？捎糜谔囟堄鄽怏w在線監(jiān)測，可在真空系統(tǒng)直接安裝。