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殘余氣體分析儀	殘余氣體分析儀規(guī)格	殘余氣體分析儀技術(shù)參數(shù)	殘余氣體分析儀用途
有機(jī)氣體殘余氣體檢測儀殘余氣體分析儀	HBD5Gas2290	55ppb-	普適型殘余氣體分析儀。便攜式殘余氣體濃度檢測,一般適合置換系統(tǒng)常壓檢測，或真空系統(tǒng)在真空泵出口檢測。
有機(jī)氣體殘余氣體濃度計(jì)殘余氣體分析儀	TBD5Gas2290	55ppb-	普適型殘余氣體分析儀。殘余氣體濃度連續(xù)監(jiān)測,一般適合置換系統(tǒng)常壓檢測，或真空系統(tǒng)在真空泵出口檢測。
有機(jī)氣體殘余氣體在線監(jiān)測系統(tǒng)	CGA2290	55ppb-	普適型殘余氣體分析儀。殘余氣體濃度連續(xù)監(jiān)測，一般適合置換系統(tǒng)常壓檢測，或真空系統(tǒng)在真空泵出口檢測。
在線氣體濃度計(jì)	TCD2220	0.01-100%	普適型殘余氣體分析儀。殘余氣體濃度連續(xù)分析。熱導(dǎo)率氣體分析儀主要用于二元?dú)怏w或準(zhǔn)二元混合氣體的相對(duì)濃度。對(duì)氫氣或氦氣有較高的選擇性。可在低真空系統(tǒng)直接安裝。	殘余氣體分析儀
四極質(zhì)譜儀殘余氣體分析儀	QMS2740	CH4:10ppb;CO2:10ppb; N2:100ppb;CO:100ppb; H2:100ppb;O2:100ppb	用于在線監(jiān)測的真空設(shè)備，主要用來檢測真空腔中的氣體成分和氣體濃度�？梢赃_(dá)到百萬量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍，優(yōu)于1amu的分辨率，5×10-4Torr的探測極限。主要用于氮?dú)狻錃獾裙鈱W(xué)惰性雙原子氣體。
微量氣體檢測系統(tǒng)殘余氣體分析儀	LGA4812-39370	ppm~%	普適型殘余氣體分析儀�？捎糜趯�(duì)紫外有吸收的各種殘余氣體在線監(jiān)測，可在真空系統(tǒng)直接安裝。
微量氣體檢測系統(tǒng)殘余氣體分析儀	LGA4812-6060	ppm~%	普適型殘余氣體分析儀�？捎糜诟鞣N有機(jī)碳?xì)浠衔餁堄鄽怏w在線監(jiān)測，可在真空系統(tǒng)直接安裝。
微量氣體檢測系統(tǒng)殘余氣體分析儀	LGA4821	ppm~%	選擇性殘余氣體分析儀�？捎糜谔囟堄鄽怏w在線監(jiān)測，可在真空系統(tǒng)直接安裝。
微量氣體檢測系統(tǒng)殘余氣體分析儀	PGA4160	ppm~%	選擇性殘余氣體分析儀�？捎糜谔囟堄鄽怏w在線監(jiān)測，可在真空系統(tǒng)直接安裝。殘余氣體分析儀

[氣體分析項(xiàng)目工況調(diào)查表]

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